薄膜静电吸盘

图一：0041-33300 0041-99957 0041-77771
          EP ESC ASSY 195MM SEMI NOTCH,STD,DPS
图二：0041-34688
          MX+ EP ESC ASSY 200MM NOTCH, 1 MIL
图三：0041-47682 0041-34856
          MX+ EP ESC ASSY 200MM NOTCH, 1 MIL
图四：0090-35135 0040-99959 （0041-34854）
          SHELL ASSY.145MM SEMI MAJOR FLAT DPS CHAMBER
图五：0040-31815 0040-99380
          SHELL ASSY, 200MM, NOTCH (2), MONO, SOLID, 5MIC, INBD, XT FING.